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真空热压机的真空泵
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真空热压机的真空泵

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发布时间:
2021/09/27 16:40
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真空热压机具备结构紧凑、实际操作便捷等优势,应用控温操纵加热技术性,温控精准,溫度采样率为0.1s ;不锈钢板作业平台,上下边整平,热导速度更快,热导均一,加热总面积大,包含常见尺寸芯片,真空热压机全自动降温系统软件,选用水冷散热降温,降温速度均一,有运用得到不错的键合实际效果,真空热压机工作压力全自动可调式,对于不一样的原材料采用不一样的工作压力操纵;真空热压机选用与众不同的真空泵压合系统软件,在确保芯片不毁坏的状况下大大提高键合通过率:鉴于油式旋片泵在真空压合工艺中存在着现在看来极为严重的缺陷(能耗高、维护量大,性能衰减快),那么,近几年来,该行业越来越被业主所青睐的水环真空机组已是大势所趋。
主要原因有:
1、水环泵无摩擦的特殊结构(泵体和叶片间为非接触)、无耗材,维护成本极低;
2、水环泵对抽气介质的高温相对不敏感;
3、水环泵对抽气介质中的杂质不敏感;
4、当水环泵与罗茨泵组合使用时其能耗低(即单位功率所产生的气量大),并且在每次保压结束时可以同时停泵(而油式旋片泵的情况却是每次保压结束后仍要空转15分钟),故其运行成本也相对较低。
在真空压合工艺使用罗茨水环真空机组 ,维护成本极低